Zigawo za granite zimathandiza nsanja yolondola ya XYZT yoyendetsera gantry kuti zitsimikizire kulondola kwa kupanga kwa semiconductor.

Mu malo opangira ma semiconductor, zofunikira pakupanga ma chip kuti zinthu ziyende bwino komanso kuti zipangizo zikhale zolondola kwambiri zimakhala zovuta kwambiri, ndipo kusintha kulikonse pang'ono kungayambitse kuchepa kwakukulu kwa kuchuluka kwa ma chip. Pulogalamu yoyendetsera ma gantry a XYZT imadalira zigawo za granite kuti zigwirizane ndi zigawo zina za nsanjayo kuti zimange maziko olimba kuti zikwaniritse kulondola kwa nanoscale.
Katundu wabwino kwambiri woletsa kugwedezeka
Mu malo opangira zinthu zamagetsi, kugwiritsa ntchito zida zozungulira ndi anthu oyendayenda kungayambitse kugwedezeka. Kapangidwe ka mkati mwa zigawo za granite ndi kolimba komanso kofanana, ndi mawonekedwe achilengedwe ochepetsa kutentha, monga "chotchinga" chogwira ntchito bwino. Pamene kugwedezeka kwakunja kutumizidwa ku nsanja ya XYZT, gawo la granite limatha kuchepetsa mphamvu yopitilira 80% ya kugwedezeka ndikuchepetsa kusokonezeka kwa kugwedezeka pa kulondola kwa kuyenda kwa nsanja. Nthawi yomweyo, nsanjayo ili ndi makina owongolera mpweya olondola kwambiri, omwe amagwira ntchito limodzi ndi zigawo za granite. Buku lowongolera mpweya limagwiritsa ntchito filimu yokhazikika ya mpweya wopangidwa ndi mpweya wopanikizika kuti lizindikire kuyenda kosakhudzana ndi magawo osuntha a nsanjayo ndikuchepetsa kugwedezeka pang'ono komwe kumachitika chifukwa cha kukangana kwamakina. Pamodzi, awiriwa amaonetsetsa kuti kulondola kwa malo a nsanjayo kumasungidwa nthawi zonse pamlingo wa nanometer m'njira zazikulu monga chip lithography ndi etching, ndikupewa kupotoka kwa mapatani a chip circuit omwe amayambitsidwa ndi kugwedezeka.
Kukhazikika kwabwino kwambiri kwa kutentha
Kusinthasintha kwa kutentha ndi chinyezi mu workshop kumakhudza kwambiri kulondola kwa zida zopangira ma chip. Kuchuluka kwa kutentha kwa granite kumakhala kochepa kwambiri, nthawi zambiri kumakhala 5-7 × 10⁻⁶/℃, kukula kwake sikusintha kwambiri kutentha kukasintha. Ngakhale kusiyana kwa kutentha pakati pa usana ndi usiku mu workshop kapena kupanga kutentha kwa zida kumapangitsa kutentha kwa malo ozungulira kusinthasintha, zigawo za granite zimatha kukhala zokhazikika kuti zisasinthe chifukwa cha kukula ndi kuchepa kwa kutentha. Nthawi yomweyo, makina owongolera kutentha anzeru omwe ali ndi pulatifomu amayang'anira kutentha kwa malo ozungulira nthawi yeniyeni, amasintha zokha zida zoziziritsira mpweya ndi kutentha, ndikusunga kutentha kwa workshop pa 20 ° C ±1 ° C. Kuphatikiza ndi ubwino wa kukhazikika kwa kutentha kwa granite, onetsetsani kuti pulatifomuyo ikugwira ntchito kwa nthawi yayitali, kulondola kwa kayendedwe ka axis iliyonse nthawi zonse kumakwaniritsa miyezo yolondola ya nanometer yopangira ma chip, kuti zitsimikizire kuti kukula kwa mawonekedwe a chip lithography ndi kolondola, kuya kwa etching kuli kofanana.
Kukwaniritsa zosowa za malo oyera
Malo opangira zinthu zamagetsi ...