Miyezo yoyesera zigawo zolondola za granite
Muyezo wolondola wa miyeso
Malinga ndi malamulo ofunikira amakampani, kulekerera kwakukulu kwa zigawo zolondola za granite kuyenera kulamulidwa mkati mwa mtunda wochepa kwambiri. Potengera chitsanzo cha nsanja yoyezera granite, kulekerera kwake kutalika ndi m'lifupi kuli pakati pa ± 0.05mm ndi ± 0.2mm, ndipo mtengo wake umadalira kukula kwa gawolo ndi zofunikira zolondola za momwe ntchito ikuyendera. Mwachitsanzo, pa nsanja yopukusira ma lens optical molondola kwambiri, kulekerera kwa miyeso kumatha kulamulidwa pa ± 0.05mm, pomwe kulekerera kwa miyeso kwa nsanja yowunikira makina ambiri kumatha kuchepetsedwa kufika pa ± 0.2mm. Pa miyeso yamkati monga kutsegula ndi m'lifupi mwa malo, kulondola kwa kulolera nakonso ndikokhwima, monga dzenje lokwezera pansi pa granite lomwe limagwiritsidwa ntchito kukhazikitsa sensor yolondola, kulekerera kwa kutsegula kuyenera kulamulidwa pa ± 0.02mm kuti zitsimikizire kulondola ndi kukhazikika kwa kukhazikitsa kwa sensor.
Muyezo wosalala
Kusalala ndi chizindikiro chofunikira cha zigawo zolondola za granite. Malinga ndi muyezo wa dziko/muyezo wa ku Germany, kusalala kwa magiredi osiyanasiyana olondola a granite platform kwafotokozedwa momveka bwino. Kusalala kwa nsanja ya kalasi 000 kumawerengedwa ngati 1×(1 + d/1000)μm (d ndi kutalika kwa diagonal, unit mm), 2×(1 + d/1000)μm ya kalasi 00, 4×(1 + d/1000)μm ya kalasi 0, ndi 8×(1 + d/1000)μm ya kalasi 1. Mwachitsanzo, nsanja ya granite ya Class 00 yokhala ndi diagonal ya 1000mm ili ndi kusalala kwa 2×(1 + 1000/1000)μm = 4μm. Mu ntchito zothandiza, monga nsanja ya lithography popanga ma chips amagetsi, nthawi zambiri amafunika kukwaniritsa muyezo wa 000 kapena 00 level flatness kuti zitsimikizire kulondola kwa njira yofalitsira kuwala mu njira ya chip lithography ndikupewa kusokonekera kwa mawonekedwe a chip chifukwa cha cholakwika cha flatness cha nsanja.
Muyezo wovuta pamwamba
Kukhwima kwa pamwamba pa zigawo zolondola za granite kumakhudza mwachindunji kulondola ndi magwiridwe antchito ofanana ndi zigawo zina. Muzochitika zachizolowezi, kukhwima kwa pamwamba pa Ra ya nsanja ya granite yomwe imagwiritsidwa ntchito pazinthu zowunikira iyenera kufika pa 0.1μm-0.4μm kuti zitsimikizire kuti zigawo zowunikira zitha kusunga magwiridwe antchito abwino a kuwala pambuyo poyika ndikuchepetsa kufalikira kwa kuwala komwe kumachitika chifukwa cha malo osafanana. Pa nsanja ya granite yomwe imagwiritsidwa ntchito poyesa makina, kukhwima kwa pamwamba pa Ra kumatha kuchepetsedwa kufika pa 0.8μm-1.6μm. Kukhwima kwa pamwamba nthawi zambiri kumadziwika pogwiritsa ntchito zida zaukadaulo monga profiler, zomwe zimatsimikiza ngati mtengo wa kukhwima kwa pamwamba ukukwaniritsa muyezo poyesa kupotoka kwapakati pa masamu a microscopic profile pamwamba.
Miyezo yodziwira zolakwika zamkati
Pofuna kutsimikizira ubwino wa mkati mwa zigawo zolondola za granite, ndikofunikira kuzindikira mosamalitsa zolakwika zawo zamkati. Pogwiritsa ntchito kuwunika kwa ultrasonic, malinga ndi miyezo yoyenera, zikapezeka kuti pali mabowo, ming'alu ndi zolakwika zina zazikulu kuposa kukula kwina (monga m'mimba mwake woposa 2mm), gawolo limawonedwa kuti silili loyenerera. Mu kuwunika kwa X-ray, ngati chithunzi cha X-ray chikuwonetsa zolakwika zamkati zomwe zimakhudza mphamvu ya kapangidwe ka gawolo, monga zolakwika zolunjika zokhala ndi kutalika kopitilira 10mm kapena zolakwika zazikulu zokhala ndi malo opitilira 50mm², gawolo silikukwaniritsa muyezo waubwino. Kudzera mu kukhazikitsa malamulowa mosamala, zitha kupewa mavuto akulu monga kusweka kwa zigawo zomwe zimachitika chifukwa cha zolakwika zamkati panthawi yogwiritsa ntchito, ndikuwonetsetsa kuti magwiridwe antchito a zida ndi kukhazikika kwa mtundu wa chinthucho.
Kapangidwe ka njira zowunikira mafakitale
Kuphatikiza zida zoyezera molondola kwambiri
Kuti tithetse vuto la kuzindikira bwino kwa granite component, ndikofunikira kuyambitsa zida zapamwamba zoyezera. Laser interferometer ili ndi kulondola kwakukulu kwa kutalika ndi muyeso wa Angle, ndipo imatha kuyeza molondola miyeso yofunika kwambiri ya granite component, ndipo kulondola kwake kwa muyeso kumatha kufika ma nanometer, omwe angakwaniritse bwino zofunikira zodziwira za kulekerera kolondola kwambiri. Nthawi yomweyo, mulingo wamagetsi ungagwiritsidwe ntchito kuyeza mwachangu komanso molondola kusalala kwa zigawo za granite papulatifomu, kudzera mu muyeso wa mfundo zambiri komanso kuphatikiza ndi ma algorithms aukadaulo, imatha kujambula mbiri yolondola ya kusalala, kulondola kozindikira mpaka 0.001mm/m. Kuphatikiza apo, 3D optical scanner imatha kusanthula mwachangu pamwamba pazovuta za gawo la granite kuti ipange chitsanzo chathunthu cha magawo atatu, chomwe chingazindikire molondola kupotoka kwa mawonekedwe poyerekeza ndi mtundu wa kapangidwe, kupereka chithandizo chokwanira cha deta yowunikira mtundu wazinthu.
Kugwiritsa ntchito ukadaulo woyesera wosawononga
Poganizira za chiopsezo cha zolakwika zamkati mwa granite pakugwira ntchito kwa zigawo, kuyesa kosawononga ndikofunikira. Chowunikira zolakwika za ultrasonic chingathe kutulutsa ultrasound yapamwamba kwambiri, pamene mafunde a phokoso akumana ndi ming'alu, mabowo ndi zolakwika zina mkati mwa granite, chidzawonekera ndikubalalika, pofufuza chizindikiro cha mafunde chowonekera, chingathe kuweruza molondola malo, kukula ndi mawonekedwe a cholakwikacho. Kuti mupeze zolakwika zazing'ono, ukadaulo wozindikira zolakwika za X-ray ndi wopindulitsa kwambiri, ukhoza kulowa mu granite kuti upange chithunzi cha kapangidwe ka mkati, kuwonetsa bwino zolakwika zazing'ono zomwe zimakhala zovuta kuzizindikira ndi maso, kuti zitsimikizire kuti khalidwe lamkati la gawolo ndi lodalirika.
Dongosolo la mapulogalamu ozindikira anzeru
Dongosolo lamphamvu la mapulogalamu ozindikira zinthu ndi gawo lalikulu la yankho lonse. Dongosololi limatha kufotokoza mwachidule, kusanthula ndikugwiritsa ntchito deta yomwe yasonkhanitsidwa ndi mitundu yonse ya zida zoyesera nthawi yeniyeni. Pogwiritsa ntchito ma algorithms anzeru opangira, pulogalamuyo imatha kuzindikira zokha mawonekedwe a deta ndikuwona ngati zigawo za granite zikukwaniritsa miyezo yapamwamba, zomwe zimapangitsa kuti magwiridwe antchito azizindikira bwino komanso molondola. Mwachitsanzo, pophunzitsa deta yambiri yowunikira pogwiritsa ntchito mitundu yophunzirira mozama, pulogalamuyo imatha kuzindikira mwachangu komanso molondola mtundu ndi kuopsa kwa zolakwika pamwamba, kupewa kuweruza molakwika komwe kungachitike chifukwa chomasulira pamanja. Nthawi yomweyo, pulogalamuyo imathanso kupanga lipoti loyesa mwatsatanetsatane, kulemba deta yoyesera ndi zotsatira za gawo lililonse, zomwe ndizosavuta kwa mabizinesi kuchita kutsata ndi kuyang'anira khalidwe.
Ubwino wa ZHHIMG mu mayankho owunikira
Monga mtsogoleri wamakampani, ZHHIMG yapeza chidziwitso chambiri pakuwunika bwino kwa granite. Kampaniyo ili ndi gulu la akatswiri ofufuza ndi kukonza, omwe nthawi zonse amadzipereka ku zatsopano ndi kukonza ukadaulo woyesera, malinga ndi zosowa zapadera za makasitomala omwe amayesa mwamakonda. ZHHIMG yakhazikitsa zida zoyesera zapamwamba padziko lonse lapansi ndikukhazikitsa njira yowongolera bwino kuti mayeso aliwonse athe kufika pamlingo wapamwamba kwambiri. Ponena za mautumiki, kampaniyo imapereka ntchito zokhazikika kuyambira pakupanga mapulani oyesera, kukhazikitsa zida ndi kuyambitsa mpaka kuphunzitsa antchito kuti atsimikizire kuti makasitomala amatha kugwiritsa ntchito bwino mayankho oyesera ndikukweza luso lowongolera khalidwe la malonda.
Nthawi yotumizira: Marichi-24-2025