1. Kulondola kwa miyeso
Kusalala: kusalala kwa pamwamba pa maziko kuyenera kufika pamlingo wapamwamba kwambiri, ndipo cholakwika cha kusalala sichiyenera kupitirira ± 0.5μm pamalo aliwonse a 100mm × 100mm; Pa malo onse oyambira, cholakwika cha kusalala chimayendetsedwa mkati mwa ± 1μm. Izi zimatsimikizira kuti zigawo zofunika kwambiri za zida za semiconductor, monga mutu wowonekera wa zida za lithography ndi tebulo la probe la zida zozindikira chip, zitha kuyikidwa bwino ndikuyendetsedwa pa ndege yolondola kwambiri, kuonetsetsa kulondola kwa njira yowunikira ndi kulumikizana kwa dera la zida, ndikupewa kusokonekera kwa zigawo zomwe zimayambitsidwa ndi ndege yosalingana ya maziko, zomwe zimakhudza kupanga ndi kulondola kwa ma chip a semiconductor.
Kuwongoka: Kuwongoka kwa m'mphepete mwa maziko ndikofunikira kwambiri. Pa kutalika, cholakwika cha kuwongoka sichiyenera kupitirira ±1μm pa 1m; Cholakwika cha kuwongoka kopingasa chimayendetsedwa mkati mwa ±1.5μm. Mwachitsanzo, pogwiritsa ntchito makina ojambulira bwino kwambiri, tebulo likayenda motsatira njanji yotsogolera ya maziko, kuwongoka kwa m'mphepete mwa maziko kumakhudza mwachindunji kulondola kwa njira ya tebulo. Ngati kuwongoka sikuli koyenera, mawonekedwe a lithography adzasokonekera ndikusokonekera, zomwe zimapangitsa kuti phindu lopanga ma chip lichepe.
Kufanana: Kulakwika kwa kufanana kwa malo apamwamba ndi otsika a maziko kuyenera kulamulidwa mkati mwa ±1μm. Kufanana kwabwino kumatha kutsimikizira kukhazikika kwa pakati pa mphamvu yokoka pambuyo poyika zida, ndipo mphamvu ya gawo lililonse ndi yofanana. Mu zida zopangira ma wafer a semiconductor, ngati malo apamwamba ndi otsika a maziko sali ofanana, wafer imapendekeka panthawi yokonza, zomwe zimakhudza kufanana kwa njira monga kupukuta ndi kuphimba, motero zimakhudza kukhazikika kwa magwiridwe antchito a chip.
Chachiwiri, makhalidwe a zinthu
Kuuma: Kuuma kwa zinthu za granite pansi kuyenera kufika pa Shore hardness HS70 kapena kupitirira apo. Kuuma kwakukulu kumatha kupirira kuwonongeka komwe kumachitika chifukwa cha kuyenda pafupipafupi komanso kukangana kwa zigawo panthawi yogwiritsira ntchito zida, kuonetsetsa kuti maziko amatha kukhala ndi kukula kolondola kwambiri atagwiritsidwa ntchito kwa nthawi yayitali. Mu zida zopakira ma chip, mkono wa loboti nthawi zambiri umagwira ndikuyika chip pansi, ndipo kuuma kwakukulu kwa maziko kumatha kutsimikizira kuti pamwamba pake sipangakhale kukanda kosavuta ndikusunga kulondola kwa kuyenda kwa mkono wa loboti.
Kuchuluka kwa zinthu: Kuchuluka kwa zinthu kuyenera kukhala pakati pa 2.6-3.1 g/cm³. Kuchuluka koyenera kumapangitsa maziko kukhala ndi kukhazikika kwabwino, komwe kungatsimikizire kulimba kokwanira kuti zithandizire zidazo, ndipo sikubweretsa zovuta pakuyika ndi kunyamula zidazo chifukwa cha kulemera kwambiri. Mu zida zazikulu zowunikira za semiconductor, kuchuluka kwa maziko kokhazikika kumathandiza kuchepetsa kufalikira kwa kugwedezeka panthawi yogwira ntchito ya zidazo ndikuwonjezera kulondola kozindikira.
Kukhazikika kwa kutentha: coefficient yokulirapo yolunjika ndi yochepera 5×10⁻⁶/℃. Zipangizo za semiconductor zimakhudzidwa kwambiri ndi kusintha kwa kutentha, ndipo kukhazikika kwa kutentha kwa maziko kumagwirizana mwachindunji ndi kulondola kwa zidazo. Panthawi ya lithography, kusinthasintha kwa kutentha kungayambitse kufutukuka kapena kupindika kwa maziko, zomwe zimapangitsa kuti pakhale kusiyana kwa kukula kwa mawonekedwe. Maziko a granite okhala ndi coefficient yokulirapo yolunjika yocheperako amatha kuwongolera kusintha kwa kukula pang'ono kwambiri kutentha kwa zidazo kukasintha (nthawi zambiri 20-30 ° C) kuti zitsimikizire kulondola kwa lithography.
Chachitatu, khalidwe la pamwamba
Kukhwima: Kukhwima pamwamba Mtengo wa Ra pa maziko supitirira 0.05μm. Malo osalala kwambiri amatha kuchepetsa kuyamwa kwa fumbi ndi zinyalala ndikuchepetsa kuyera kwa malo opangira ma chip a semiconductor. Mu malo opangira ma chip opanda fumbi, tinthu tating'onoting'ono tingayambitse zolakwika monga short circuit ya chip, ndipo malo osalala a maziko amathandizira kusunga malo oyera a workshop ndikuwonjezera kuchuluka kwa chip.
Zolakwika za Microscopic: Pamwamba pa maziko simuloledwa kukhala ndi ming'alu yooneka, mabowo amchenga, ma pores ndi zolakwika zina. Pa mulingo wa microscopic, chiwerengero cha zolakwika zomwe zili ndi mainchesi opitilira 1μm pa sikweya sentimita imodzi sichiyenera kupitirira 3 pogwiritsa ntchito maikulosikopu ya elekitironi. Zolakwika izi zidzakhudza mphamvu ya kapangidwe kake ndi kusalala kwa pamwamba pa maziko, kenako zidzakhudza kukhazikika ndi kulondola kwa zidazo.
Chachinayi, kukhazikika ndi kukana kugwedezeka
Kukhazikika kwa mphamvu: Mu malo oyeserera kugwedezeka komwe kumachitika chifukwa cha kugwira ntchito kwa zida za semiconductor (kugwedezeka kwa pafupipafupi 10-1000Hz, kutalika 0.01-0.1mm), kusuntha kwa kugwedezeka kwa malo oyikapo makiyi pamunsi kuyenera kulamulidwa mkati mwa ±0.05μm. Potengera zida zoyesera za semiconductor mwachitsanzo, ngati kugwedezeka kwa chipangizocho ndi kugwedezeka kwa malo ozungulira zitumizidwa kumunsi panthawi yogwira ntchito, kulondola kwa chizindikiro choyesera kungasokonezedwe. Kukhazikika kwamphamvu kwa mphamvu kumatha kutsimikizira zotsatira zodalirika zoyeserera.
Kukana kwa chivomerezi: Maziko ayenera kukhala ndi mphamvu yabwino kwambiri ya chivomerezi, ndipo amatha kuchepetsa mphamvu ya kugwedezeka mofulumira akamagwedezeka mwadzidzidzi (monga kugwedezeka kwa mafunde a chivomerezi), ndikuwonetsetsa kuti malo ofunikira a zida akusintha mkati mwa ± 0.1μm. M'mafakitale a semiconductor m'malo omwe chivomerezi chimatha kuchitika, maziko osagwedezeka amatha kuteteza bwino zida zodula za semiconductor, kuchepetsa chiopsezo cha kuwonongeka kwa zida ndi kusokonezeka kwa kupanga chifukwa cha kugwedezeka.
5. Kukhazikika kwa mankhwala
Kukana dzimbiri: Maziko a granite ayenera kupirira dzimbiri la mankhwala omwe amagwiritsidwa ntchito popanga zinthu monga semiconductor, aqua regia, ndi zina zotero. Mukalowa mu hydrofluoric acid solution ndi 40% kwa maola 24, kuchuluka kwa kutayika kwa pamwamba sikuyenera kupitirira 0.01%; Zilowerereni mu aqua regia (chiŵerengero cha voliyumu ya hydrochloric acid ku nitric acid 3:1) kwa maola 12, ndipo palibe zizindikiro zoonekeratu za dzimbiri pamwamba. Njira yopangira zinthu monga semiconductor imaphatikizapo njira zosiyanasiyana zoyeretsera ndi kuyeretsa mankhwala, ndipo kukana kwa dzimbiri kwa maziko kumatha kutsimikizira kuti kugwiritsidwa ntchito kwa nthawi yayitali m'malo opangira mankhwala sikukuwonongeka, ndipo kulondola ndi umphumphu wa kapangidwe kake zimasungidwa.
Kuletsa kuipitsa: Zipangizo zapansi sizimayamwa kwambiri zinthu zoipitsa zomwe zimapezeka m'malo opangira zinthu monga mpweya wachilengedwe, ma ayoni achitsulo, ndi zina zotero. Zikayikidwa pamalo okhala ndi mpweya wachilengedwe wa 10 PPM (monga benzene, toluene) ndi 1ppm ya ma ayoni achitsulo (monga ma ayoni amkuwa, ma ayoni achitsulo) kwa maola 72, kusintha kwa magwiridwe antchito komwe kumachitika chifukwa cha kuyamwa kwa zinthu zoipitsa pamwamba pa nthaka sikungatheke. Izi zimaletsa zinthu zoipitsa kusamuka kuchokera pamwamba pa nthaka kupita kumalo opangira ma chip ndikukhudza ubwino wa chip.
Nthawi yotumizira: Marichi-28-2025