Mu ndondomeko ya makampani opanga ma semiconductor kupita ku njira zopangira ma nanoscale, kudula ma wafer, monga cholumikizira chofunikira kwambiri popanga ma chip, kuli ndi zofunikira kwambiri kuti zida zikhale zokhazikika. Maziko a granite, omwe ali ndi kukana kwake kugwedezeka komanso kukhazikika kwa kutentha, akhala gawo lofunika kwambiri la zida zodulira ma wafer, zomwe zimapereka chitsimikizo chodalirika chokwaniritsa kukonza ma wafer molondola komanso moyenera.
Makhalidwe oletsa kugwedezeka kwambiri: Kuteteza kulondola kwa kudula kwa nano-level
Zipangizo zodulira wafer zikagwira ntchito, kuzungulira kwa spindle mwachangu, kugwedezeka kwa chida chodulira pafupipafupi, komanso kugwedezeka kwa chilengedwe komwe kumachitika ndi zida zozungulira zonse zimakhudza kwambiri kulondola kwa kudula. Kugwira ntchito kwa damping kwa maziko achitsulo achikhalidwe kumakhala kochepa, zomwe zimapangitsa kuti zikhale zovuta kuchepetsa kugwedezeka mwachangu, zomwe zimapangitsa kuti zida zodulira zikhale ndi micron-level ndipo zimayambitsa zolakwika monga m'mphepete mwa ma wafer ndi ming'alu. Makhalidwe apamwamba a damping a maziko a granite athetsa vutoli kwambiri.
Ma kristalo a mchere amkati mwa granite amalukidwa bwino, zomwe zimapangitsa kuti mphamvu yachilengedwe ifalikire. Pamene kugwedezeka kumatumizidwa ku maziko, kapangidwe kake ka mkati kamatha kusintha mphamvu ya kugwedezeka kukhala mphamvu ya kutentha, zomwe zimapangitsa kuti kugwedezeka kuchepe bwino. Deta yoyesera ikuwonetsa kuti pansi pa malo omwewo ogwedezeka, maziko a granite amatha kuchepetsa mphamvu ya kugwedezeka ndi zoposa 90% mkati mwa masekondi 0.5, pomwe maziko achitsulo amafunika masekondi 3 mpaka 5. Kuchita bwino kwa kunyowa kumeneku kumatsimikizira kuti chida chodulira chimakhalabe chokhazikika panthawi yodulira ya nanoscale, kutsimikizira kuti m'mphepete mwake mudulidwe wa wafer ndi kuchepetsa bwino kuchuluka kwa kugwedezeka. Mwachitsanzo, mu njira yodulira wafer ya 5nm, zida zokhala ndi maziko a granite zimatha kuwongolera kukula kwa kugwedezeka mkati mwa 10μm, komwe kuli kokwera kuposa 40% kuposa zida zokhala ndi maziko achitsulo.
Kuchuluka kwa kutentha kotsika kwambiri: Kukana kusinthasintha kwa kutentha
Panthawi yodula wafer, kutentha komwe kumachitika chifukwa cha kukangana kwa zida zodulira, kutaya kutentha chifukwa cha kugwira ntchito kwa nthawi yayitali kwa zida, komanso kusintha kwa kutentha kwa malo ogwirira ntchito kungayambitse kusintha kwa kutentha kwa zida. Kuchuluka kwa kutentha kwa zinthu zachitsulo kumakhala kwakukulu (pafupifupi 12×10⁻⁶/℃). Kutentha kukasinthasintha ndi 5℃, maziko achitsulo a mita imodzi amatha kusintha ndi 60μm, zomwe zimapangitsa kuti malo odulira asinthe ndikukhudza kwambiri kulondola kwa kudula.
Kuchuluka kwa kutentha kwa maziko a granite ndi (4-8) ×10⁻⁶/℃ kokha, komwe ndi kochepera gawo limodzi mwa magawo atatu a zinthu zachitsulo. Pansi pa kusintha komweko kwa kutentha, kusintha kwake kwa miyeso kumatha kunyalanyazidwa. Deta yoyesedwa ya kampani inayake yopanga ma semiconductor ikuwonetsa kuti pakatha maola 8 ogwirira ntchito yodula wafer mwamphamvu kwambiri, kutentha kozungulira kumasinthasintha ndi 10℃, malo odulira zida zokhala ndi maziko a granite ndi ochepera 20μm, pomwe zida zokhala ndi maziko achitsulo zimaposa 60μm. Kugwira ntchito kokhazikika kwa kutentha kumeneku kumatsimikizira kuti malo ogwirizana pakati pa chida chodulira ndi wafer amakhalabe olondola nthawi zonse. Ngakhale pakatha nthawi yayitali yogwira ntchito kapena kusintha kwakukulu kwa kutentha kwa chilengedwe, kulondola kodulira kumatha kusungidwa.
Kulimba ndi kukana kuvala: Onetsetsani kuti zipangizozi zikugwira ntchito bwino kwa nthawi yayitali
Kuwonjezera pa ubwino wa kukana kugwedezeka ndi kukhazikika kwa kutentha, kulimba kwambiri ndi kukana kuvala kwa maziko a granite kumawonjezera kudalirika kwa zida zodulira za wafer. Granite ili ndi kuuma kwa 6 mpaka 7 pa sikelo ya Mohs komanso mphamvu yopondereza yoposa 120MPa. Imatha kupirira kupanikizika kwakukulu ndi mphamvu yogunda panthawi yodulira ndipo siimasintha mosavuta. Pakadali pano, kapangidwe kake kolimba kamapatsa mphamvu yabwino kwambiri yokana kuvala. Ngakhale panthawi yodulira pafupipafupi, pamwamba pa maziko sipatha kuvala, kuonetsetsa kuti zidazo zimagwira ntchito molondola kwambiri kwa nthawi yayitali.
Mu ntchito zothandiza, makampani ambiri opanga ma wafer akweza kwambiri zokolola ndi kupanga bwino mwa kugwiritsa ntchito zida zodulira zokhala ndi maziko a granite. Deta yochokera ku fakitale yotsogola padziko lonse lapansi ikuwonetsa kuti atayambitsa zida zodulira granite, zokolola zodulira ma wafer zawonjezeka kuchoka pa 88% kufika pa 95%, nthawi yokonza zida yakulitsidwa katatu, zomwe zachepetsa ndalama zopangira ndikuwonjezera mpikisano pamsika.
Pomaliza, maziko a granite, omwe ali ndi kukana kugwedezeka bwino, kukhazikika kwa kutentha, kulimba kwambiri komanso kukana kuvala, amapereka chitsimikizo chokwanira cha magwiridwe antchito a zida zodulira wafer. Pamene ukadaulo wa semiconductor ukupita patsogolo kuti ukhale wolondola kwambiri, maziko a granite adzakhala ndi gawo lofunika kwambiri pakupanga wafer, ndikulimbikitsa chitukuko chopitilira cha makampani opanga semiconductor.
Nthawi yotumizira: Meyi-20-2025