Mu gawo la kupanga ma semiconductor, monga zida zazikulu zomwe zimatsimikiza kulondola kwa njira yopangira ma chip, kukhazikika kwa malo amkati mwa makina a photolithography ndikofunikira kwambiri. Kuyambira pakusonkhezera kwa gwero la kuwala kwa ultraviolet kwambiri mpaka kugwira ntchito kwa nsanja yoyendetsera bwino ya nanoscale, sipangakhale kupotoka kulikonse mu ulalo uliwonse. Maziko a granite, okhala ndi zinthu zingapo zapadera, akuwonetsa zabwino zosayerekezeka pakutsimikizira kugwira ntchito kokhazikika kwa makina a photolithography ndikuwonjezera kulondola kwa photolithography.
Kugwira ntchito bwino kwambiri kwa chitetezo chamagetsi
Mkati mwa makina ojambulira zithunzi muli malo ovuta okhala ndi ma elekitiromagineti. Kusokoneza kwa ma elekitiromagineti (EMI) komwe kumapangidwa ndi zinthu monga magwero amphamvu a kuwala kwa ultraviolet, ma drive motors, ndi magetsi amphamvu kwambiri, ngati sikuyendetsedwa bwino, kudzakhudza kwambiri magwiridwe antchito a zida zamagetsi zolondola komanso makina owonera mkati mwa zidazo. Mwachitsanzo, kusokoneza kungayambitse kusintha pang'ono mu kapangidwe ka photolithography. Mu njira zopangira zapamwamba, izi ndizokwanira kutsogolera kulumikizana kolakwika kwa transistor pa chip, zomwe zimachepetsa kwambiri kuchuluka kwa chip.
Granite si chinthu chachitsulo ndipo sichichita magetsi yokha. Palibe chinthu choyambitsa maginito chomwe chimachitika chifukwa cha kuyenda kwa ma elekitironi aulere mkati monga momwe zilili ndi zinthu zachitsulo. Khalidweli limapangitsa kuti likhale thupi lachilengedwe loteteza maginito, lomwe lingatseke bwino njira yotumizira ya kusokoneza kwa maginito amkati. Pamene mphamvu ya maginito yosinthika yopangidwa ndi gwero lakunja la kusokoneza maginito ikafalikira ku maziko a granite, popeza granite si ya maginito ndipo singathe kusinthidwa kukhala maginito, mphamvu ya maginito yosinthasintha imakhala yovuta kulowa, motero imateteza zigawo zazikulu za makina ojambulira zithunzi omwe adayikidwa pa maziko, monga masensa olondola ndi zida zosinthira ma lens a kuwala, ku mphamvu ya kusokoneza maginito ndikuwonetsetsa kuti kusamutsa kwa mapangidwe kuli kolondola panthawi ya njira yojambulira zithunzi.
Kugwirizana kwabwino kwambiri kwa vacuum
Popeza kuwala kwa ultraviolet kwambiri (EUV) kumayamwa mosavuta ndi zinthu zonse, kuphatikizapo mpweya, makina a EUV lithography ayenera kugwira ntchito pamalo opanda vacuum. Pakadali pano, kugwirizana kwa zida ndi malo opanda vacuum kumakhala kofunika kwambiri. Mu vacuum, zipangizo zimatha kusungunuka, kuchotsa ndi kutulutsa mpweya. Mpweya wotulutsidwa sumangoyamwa kuwala kwa EUV, kuchepetsa mphamvu ndi mphamvu yotumizira kuwala, komanso ungadetse magalasi owunikira. Mwachitsanzo, nthunzi yamadzi imatha kusakaniza magalasi, ndipo ma hydrocarbon amatha kuyika zigawo za kaboni pa magalasi, zomwe zimakhudza kwambiri mtundu wa lithography.
Granite ili ndi mphamvu zokhazikika za mankhwala ndipo sizimatulutsa mpweya m'malo opanda mpweya. Malinga ndi mayeso aukadaulo, m'malo opanda mpweya a makina opangidwa ndi photolithography (monga malo opanda mpweya oyera kwambiri momwe makina owunikira ndi makina owunikira zithunzi m'chipinda chachikulu zilili, zomwe zimafuna H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), kuchuluka kwa mpweya wotuluka m'munsi mwa granite ndi kochepa kwambiri, kotsika kwambiri kuposa kwa zinthu zina monga zitsulo. Izi zimathandiza mkati mwa makina opangidwa ndi photolithography kukhalabe ndi vacuum yambiri komanso ukhondo kwa nthawi yayitali, kuonetsetsa kuti kuwala kwa EUV kumafalikira kwambiri panthawi yotumiza komanso malo ogwiritsira ntchito magalasi oyera kwambiri, kukulitsa moyo wa makina opangidwa ndi photolithography, ndikuwonjezera magwiridwe antchito onse a makina opangidwa ndi photolithography.
Kukana mwamphamvu kugwedezeka ndi kukhazikika kwa kutentha
Panthawi yojambula zithunzi, kulondola kwa nanometer kumafuna kuti makina ojambulira zithunzi asakhale ndi kugwedezeka pang'ono kapena kusintha kwa kutentha. Kugwedezeka kwa chilengedwe komwe kumachitika chifukwa cha kugwiritsa ntchito zida zina ndi kuyenda kwa ogwira ntchito mu workshop, komanso kutentha komwe kumapangidwa ndi makina ojambulira zithunzi panthawi yogwira ntchito, zonsezi zitha kusokoneza kulondola kwa kujambula zithunzi. Granite ili ndi kachulukidwe kakakulu komanso kapangidwe kolimba, ndipo ili ndi kukana kwabwino kwambiri kwa kugwedezeka. Kapangidwe kake ka mkati mwa kristalo ndi kakang'ono, komwe kumatha kuchepetsa mphamvu ya kugwedezeka ndikuletsa kufalikira kwa kugwedezeka mwachangu. Deta yoyesera ikuwonetsa kuti pansi pa gwero lomwelo la kugwedezeka, maziko a granite amatha kuchepetsa kuchuluka kwa kugwedezeka ndi zoposa 90% mkati mwa masekondi 0.5. Poyerekeza ndi maziko achitsulo, amatha kubwezeretsa zidazo mwachangu, kuonetsetsa kuti malo olondola pakati pa lenzi ya photolithography ndi wafer, ndikupewa kusokonekera kwa mawonekedwe kapena kusakhazikika komwe kumachitika chifukwa cha kugwedezeka.
Pakadali pano, kuchuluka kwa kutentha kwa granite kumakhala kochepa kwambiri, pafupifupi (4-8) ×10⁻⁶/℃, komwe ndi kotsika kwambiri kuposa kwa zinthu zachitsulo. Pakugwira ntchito kwa makina ojambulira zithunzi, ngakhale kutentha kwamkati kusinthasintha chifukwa cha zinthu monga kutentha kuchokera ku gwero la kuwala ndi kukangana kuchokera ku zigawo zamakina, maziko a granite amatha kusunga kukhazikika kwa mawonekedwe ndipo sadzasintha kwambiri chifukwa cha kukula ndi kupindika kwa kutentha. Amapereka chithandizo chokhazikika komanso chodalirika cha makina owonera ndi nsanja yoyenda molondola, kusunga kulondola kwa photolithography.
Nthawi yotumizira: Meyi-20-2025