Pulatifomu ya granite yoperekedwa kuzipinda zoyeretsa: Kutulutsa zitsulo za Zero, chisankho chabwino pazida zowunikira.

M'munda wowunikira ma semiconductor wafer, kuyera kwa malo oyeretsa kumagwirizana mwachindunji ndi zokolola. Pamene kulondola kwa njira zopangira chip kukupitilirabe bwino, zofunika pa nsanja zonyamulira zida zodziwira zikuchulukirachulukira. Mapulatifomu a granite, omwe ali ndi mawonekedwe ake otulutsa ayoni achitsulo a zero komanso kuwononga tinthu kochepa, aposa zida zachitsulo zosapanga dzimbiri ndipo akhala njira yabwino yowonera zida zowunikira.

Granite ndi mwala wachilengedwe woyaka moto womwe umapangidwa ndi mchere wopanda chitsulo monga quartz, feldspar ndi mica. Chikhalidwe ichi chimapatsa mwayi wotulutsa zero zitsulo. Mosiyana ndi izi, chitsulo chosapanga dzimbiri, monga aloyi wazitsulo monga chitsulo, chromium ndi faifi tambala, chimakonda kuwonongeka ndi electrochemical pamwamba pake chifukwa cha kukokoloka kwa nthunzi yamadzi ndi mpweya wa acidic kapena wamchere m'malo oyeretsera, zomwe zimapangitsa kuti ma ayoni achitsulo monga Fe²⁺ ndi Cr³⁺ agwe. Ma ion ang'onoang'onowa akafika pamwamba pa chowotchacho, amasintha mphamvu zamagetsi zazinthu zopangira semiconductor m'njira zotsatizana monga Photolithography ndi etching, zomwe zimapangitsa kuti transistor aziyenda pang'onopang'ono, komanso zimatsogolera kumayendedwe amfupi. Deta yoyezetsa bungwe la akatswiri ikuwonetsa kuti nsanja ya granite itawonetsedwa mosalekeza kuchipinda choyera kutentha ndi chinyezi (23±0.5 ℃, 45% ± 5% RH) kwa maola 1000, kutulutsidwa kwa ayoni zitsulo kunali kotsika kuposa malire ozindikira (<0.1ppb). Kuwonongeka kwa zowotcha zomwe zimayambitsidwa ndi kuipitsidwa kwa ayoni zitsulo mukamagwiritsa ntchito nsanja zachitsulo zosapanga dzimbiri zimatha kukhala 15% mpaka 20%.

Pankhani yakuwongolera kuipitsidwa kwa tinthu, nsanja za granite zimagwiranso ntchito bwino kwambiri. Zipinda zoyeretsera zimakhala ndi zofunika kwambiri kuti tinthu tating'ono ting'onoting'ono mumlengalenga. Mwachitsanzo, mu ISO Class 1 cleanrooms, chiwerengero cha 0.1μm particles amaloledwa pa mita kiyubiki si upambana 10. Ngakhale nsanja zosapanga dzimbiri wadutsa mankhwala kupukuta, akhoza kutulutsa zinyalala zitsulo kapena okusayidi sikelo peeling chifukwa cha mphamvu zakunja monga zida kugwedera ndi ntchito ogwira ntchito, amene angasokoneze kudziwika kuwala watchi njira kapena pamwamba. Mapulatifomu a granite, okhala ndi mchere wambiri (kuchuluka kwa ≥2.7g / cm³) ndi kuuma kwakukulu (6-7 pamlingo wa Mohs), samakonda kuvala kapena kusweka pakagwiritsidwe ntchito nthawi yayitali. Miyezo yoyezedwa ikuwonetsa kuti imatha kuchepetsa kuchuluka kwa tinthu tating'onoting'ono mlengalenga m'dera la zida zodziwikiratu ndi 40% poyerekeza ndi nsanja zachitsulo chosapanga dzimbiri, ndikusunga bwino miyezo ya kalasi yoyeretsa.

Kuphatikiza pa mawonekedwe ake oyera, magwiridwe antchito athunthu a nsanja za granite amaposanso zitsulo zosapanga dzimbiri. Pankhani ya kukhazikika kwa kutentha, mphamvu yake yowonjezera kutentha ndi (4-8) × 10⁻⁶/℃, yocheperapo theka la chitsulo chosapanga dzimbiri (pafupifupi 17 × 10⁻⁶/℃), chomwe chingathe kusunga malo olondola a zipangizo zodziwira pamene kutentha m'chipinda choyera kumasinthasintha. Mawonekedwe otsika kwambiri (chiŵerengero cha damping> 0.05) amatha kuchepetsa kugwedezeka kwa chipangizocho ndikuletsa kufufuza kuti zisagwedezeke. Kukana kwake kwachilengedwe kwa dzimbiri kumathandizira kuti ikhalebe yokhazikika ngakhale itakumana ndi zosungunulira za photoresist, mipweya ya etching ndi mankhwala ena popanda kufunikira kowonjezera chitetezo chowonjezera.

Pakalipano, nsanja za granite zimagwiritsidwa ntchito kwambiri m'mafakitale apamwamba opanga mawafa. Deta ikuwonetsa kuti atatengera nsanja ya granite, kuwongolera molakwika kwa kuwunika kwa tinthu tating'onoting'ono kwatsika ndi 60%, kuzungulira kwa zida kwakulitsidwa katatu, ndipo mtengo wonse wopanga watsika ndi 25%. Pamene makampani opanga ma semiconductor akupita kumayendedwe apamwamba kwambiri, nsanja za granite, zokhala ndi zabwino zake zazikulu monga kutulutsa zitsulo zazitsulo za zero ndi kuipitsidwa kwa tinthu tating'onoting'ono, zipitiliza kupereka chithandizo chokhazikika komanso chodalirika pakuwunika kwawafa, kukhala mphamvu yofunika kuyendetsa msika.