Kuyeza kukhazikika kwa kutentha kwa nsanja za granite mu zida za semiconductor metering.

ku
M'munda wopanga ma semiconductor, kulondola ndiye njira yamoyo yamtundu wazinthu komanso magwiridwe antchito. Zida zoyezera ma semiconductor, monga ulalo wofunikira kuti zitsimikizire kulondola kwa kupanga, zimayika zofunikira pakukhazikika kwa zigawo zake zazikulu. Pakati pawo, nsanja ya granite, yokhala ndi kukhazikika kwake kwamatenthedwe, imagwira ntchito yofunika kwambiri pazida za semiconductor metering. Nkhaniyi iwunika mozama momwe kutentha kumagwirira ntchito pamapulatifomu a granite mu zida za semiconductor metering kudzera mu data yeniyeni yoyeserera. ku
Zomwe zimafunikira pakukhazikika kwamafuta pakuyezera zida popanga semiconductor
Njira yopangira semiconductor ndi yovuta kwambiri komanso yolondola, ndipo m'lifupi mwake mizere yozungulira pa chip yalowa mulingo wa nanometer. Pakupanga kolondola kwambiri kotereku, ngakhale kusintha pang'ono kwa kutentha kumatha kukulitsa kutentha ndi kutsika kwa zida za zida, potero kumayambitsa zolakwika za kuyeza. Mwachitsanzo, mu ndondomeko ya photolithography, ngati kuyeza kwa metering kutayika ndi 1 nanometer, kungayambitse mavuto aakulu monga mabwalo afupiafupi kapena mabwalo otseguka m'mabwalo a chip, zomwe zimapangitsa kuti chip chiwonongeke. Malinga ndi ziwerengero zamakampani, pakusintha kulikonse kwa 1 ℃ kutentha, nsanja yachitsulo yoyezera zida zachitsulo imatha kusintha ma nanometer angapo. Komabe, kupanga ma semiconductor kumafuna kulondola kwa kuyeza kuti kuyendetsedwe mkati mwa ± 0.1 nanometers, zomwe zimapangitsa kukhazikika kwamafuta kukhala chinthu chofunikira kwambiri pozindikira ngati zida zoyezera metering zitha kukwaniritsa zofunikira pakupanga semiconductor. ku

Ubwino wongoyerekeza wa kukhazikika kwa kutentha kwa nsanja za granite
Granite, ngati mwala wachilengedwe, imakhala ndi crystallization yamkati yamkati, yowoneka bwino komanso yofananira, ndipo imakhala ndi mwayi wachilengedwe wakukhazikika kwamafuta. Pankhani ya coefficient of thermal expansion, coefficient of thermal expansion of granite ndi yotsika kwambiri, nthawi zambiri kuyambira 4.5 mpaka 6.5×10⁻⁶/K. Mosiyana ndi izi, coefficient of thermal expansion of the common metallic materials as a aluminium alloys ndi okwera kwambiri mpaka 23.8×10⁻⁶/K, omwe ndi kangapo kuposa granite. Izi zikutanthauza kuti pansi pa kutentha komweko kumasintha, kusintha kwa mawonekedwe a nsanja ya granite kumakhala kochepa kwambiri kuposa nsanja yachitsulo, yomwe ingapereke chidziwitso chokhazikika choyezera zida za semiconductor metering. ku
Kuphatikiza apo, kapangidwe ka kristalo ka granite kamapangitsa kuti ikhale yofanana kwambiri pakuwongolera kutentha. Pamene zipangizo ntchito amapanga kutentha kapena yozungulira kutentha kusintha, ndi lubwe nsanja akhoza mofulumira ndi wogawana kuchititsa kutali kutentha, kupewa kutenthedwa m'deralo kapena overcooling zochitika, potero mogwira kusunga wonse kutentha kusasinthasintha kwa nsanja ndi kuonetsetsa bata la kuyeza kulondola. ku
Njira ndi njira yoyezera kukhazikika kwa kutentha
Kuti tiwone bwino kukhazikika kwa kutentha kwa nsanja ya granite mu zida za semiconductor metering, tapanga chiwembu choyezera kwambiri. Sankhani chida choyezera chapamwamba kwambiri cha semiconductor wafer, chomwe chili ndi nsanja ya granite yokonzedwa bwino kwambiri. M'malo oyesera, kusiyanasiyana kosiyanasiyana kwa kutentha kwa semiconductor yopangira ma semiconductor kunayerekezedwa, ndiko kuti, kutenthetsa pang'onopang'ono kuchokera ku 20 ℃ mpaka 35 ℃ kenako kuzirala kubwerera ku 20 ℃. Ntchito yonseyi inatenga maola 8. ku
Pa nsanja ya granite ya chida choyezera, zowotcha za silicon zolondola kwambiri zimayikidwa, ndipo masensa osunthika omwe ali ndi kulondola kwa nanoscale amagwiritsidwa ntchito kuyang'anira kusintha komwe kuli pakati pa zowotcha za silicon ndi nsanja munthawi yeniyeni. Pakalipano, masensa ambiri a kutentha kwapamwamba kwambiri amakonzedwa m'malo osiyanasiyana pa nsanja kuti ayang'ane kugawidwa kwa kutentha pa nsanja. Panthawi yoyesera, deta yosuntha ndi deta ya kutentha inalembedwa mphindi iliyonse ya 15 kuti zitsimikizire kukwanira ndi kulondola kwa deta. ku
Deta yoyezedwa ndi kusanthula zotsatira
Ubale pakati pa kusintha kwa kutentha ndi kusintha kwa kukula kwa nsanja
Deta yoyesera ikuwonetsa kuti kutentha kukakwera kuchoka pa 20 ℃ kufika pa 35 ℃, kusintha kwa mzere wa mzere wa nsanja ya granite kumakhala kochepa kwambiri. Pambuyo powerengera, panthawi yonse yowotchera, kukula kwakukulu kwa nsanja kumangokhala ma nanometers 0,3, omwe ndi otsika kwambiri kuposa kulekerera zolakwika pakuyesa kulondola mumayendedwe opanga semiconductor. Panthawi yozizira, kukula kwa nsanja kumatha kubwereranso ku chikhalidwe choyambirira, ndipo kusintha kwa kukula kunganyalanyazidwe. Mkhalidwe woterewu wosunga kusintha kocheperako ngakhale pansi pa kusinthasintha kwakukulu kwa kutentha umatsimikizira bwino kukhazikika kwa kutentha kwa nsanja ya granite. ku
Kusanthula kwa kutentha mofanana pamtunda wa nsanja
Deta yomwe imasonkhanitsidwa ndi sensa ya kutentha imasonyeza kuti panthawi yogwiritsira ntchito zipangizo ndi kusintha kwa kutentha, kugawidwa kwa kutentha pamwamba pa nsanja ya granite kumakhala kofanana kwambiri. Ngakhale panthawi yomwe kutentha kumasintha kwambiri, kusiyana kwa kutentha pakati pa malo aliwonse oyezera papulatifomu nthawi zonse kumayendetsedwa mkati mwa ± 0.1 ℃. Kugawa kwa kutentha kofanana kumapewa kusinthika kwa pulatifomu komwe kumachitika chifukwa cha kupsinjika kwa kutentha, kuwonetsetsa kusalala ndi kukhazikika kwa malo owerengera, ndikupereka malo odalirika oyezera zida za semiconductor metrology. ku
Poyerekeza ndi nsanja zakuthupi zachikhalidwe
Deta yoyezedwa ya nsanja ya granite inafananizidwa ndi zida za semiconductor metering zamtundu womwewo pogwiritsa ntchito nsanja ya aluminiyamu alloy, ndipo kusiyana kwake kunali kwakukulu. Pansi pa kusintha kwa kutentha komweku, kukula kwa mzere wa nsanja ya aluminiyamu ya alloy ndipamwamba kwambiri mpaka 2.5 nanometers, yomwe ili yoposa kasanu ndi katatu kuposa nsanja ya granite. Pakalipano, kugawa kwa kutentha pamwamba pa nsanja ya aluminiyamu ndi yosagwirizana, kusiyana kwakukulu kwa kutentha kumafika pa 0.8 ℃, zomwe zimapangitsa kuti mapulaneti awonekere papulatifomu ndi kukhudza kwambiri kuyeza kwake. ku
M'dziko lenileni la zida za semiconductor metrology, nsanja za granite, zomwe zili ndi kukhazikika kwawo kwamafuta, zakhala zofunika kwambiri pakuwonetsetsa kuti kuyeza kwake kuli kolondola. Deta yoyezedwa imatsimikizira mwamphamvu magwiridwe antchito apamwamba a nsanja ya granite poyankha kusintha kwa kutentha, kupereka chithandizo chodalirika chaukadaulo kwamakampani opanga ma semiconductor. Pamene njira zopangira ma semiconductor zikupita patsogolo kwambiri, mwayi wokhazikika wamapulatifomu wa granite udzakhala wodziwika kwambiri, ndikupititsa patsogolo luso laukadaulo komanso chitukuko chamakampani.