1. Kulondola kwazithunzi
Flatness: flatness pamwamba pa maziko ayenera kufika mlingo wapamwamba kwambiri, ndipo flatness kulakwitsa si upambana ± 0.5μm m'dera lililonse 100mm × 100mm; Pa ndege yonse yoyambira, cholakwika cha flatness chimawongoleredwa mkati mwa ± 1μm. Izi zimatsimikizira kuti zigawo zikuluzikulu za zida za semiconductor, monga kukhudzana mutu wa zida lithography ndi kafukufuku tebulo la chipangizo chipangizo kudziwika chipangizo, akhoza stably anaika ndi opareshoni pa ndege mkulu-mwatsatanetsatane, kuonetsetsa kulondola kwa njira kuwala ndi kugwirizana dera zida, ndi kupewa kusamuka kusamuka kwa zigawo zikuluzikulu chifukwa cha chip semiconductor chifukwa cha m'munsi ndi kudziwika m'munsi ndi kudziwika m'munsi. kulondola.
Kuwongoka: Kuwongoka kwa m'mphepete mwa maziko aliwonse ndikofunikira. Kumbali ya kutalika, cholakwika chowongoka sichidutsa ± 1μm pa 1m; Cholakwika cha diagonal kuwongoka chimayendetsedwa mkati mwa ± 1.5μm. Kutenga makina olondola kwambiri a lithography monga chitsanzo, pamene tebulo likuyenda motsatira njanji yoyendetsera maziko, kuwongoka kwa m'mphepete mwa maziko kumakhudza mwachindunji kulondola kwa tebulo. Ngati kuwongoka sikuli koyenera, mawonekedwe a lithography amasokonekera ndikuwonongeka, zomwe zimapangitsa kuchepa kwa zokolola zopanga chip.
Parallelism: Cholakwika chofananira chapamwamba ndi pansi pamunsi chiyenera kuyendetsedwa mkati mwa ± 1μm. Kufanana kwabwino kumatha kutsimikizira kukhazikika kwapakati pa mphamvu yokoka pambuyo poyika zida, ndipo mphamvu ya gawo lililonse ndi yunifolomu. Pazida zopangira semiconductor wafer, ngati pamwamba ndi pansi pamunsi sizikufanana, chophatikiziracho chimapendekeka panthawi yokonza, zomwe zimakhudza kufanana kwa njirayo monga etching ndi zokutira, motero zimakhudza kusasinthika kwa chip.
Chachiwiri, makhalidwe akuthupi
Kuuma: Kulimba kwa zinthu zoyambira za granite kuyenera kufikira kulimba kwa Shore HS70 kapena kupitilira apo. Kuuma kwapamwamba kumatha kukana bwino kuvala komwe kumachitika chifukwa cha kusuntha pafupipafupi komanso kukangana kwa zigawo panthawi yogwiritsira ntchito zida, kuonetsetsa kuti mazikowo amatha kukhala ndi kukula kolondola kwambiri pakatha kugwiritsidwa ntchito kwa nthawi yayitali. Mu zida zopangira zida za chip, mkono wa loboti nthawi zambiri umagwira ndikuyika chip pamunsi, ndipo kuuma kwakukulu kwa mazikowo kumatha kutsimikizira kuti pamwamba sizovuta kupanga zokopa ndikusunga kulondola kwa kayendedwe ka mkono wa robot.
Kachulukidwe: Kuchulukana kwazinthu kuyenera kukhala pakati pa 2.6-3.1 g/cm³. Kuchulukana koyenera kumapangitsa kuti mazikowo akhale okhazikika bwino, omwe amatha kutsimikizira kukhazikika kokwanira kuti athandizire zida, ndipo sizingabweretse zovuta pakuyika ndi kunyamula zida chifukwa cholemera kwambiri. Pazida zazikulu zowunikira za semiconductor, kusasunthika kokhazikika kumathandizira kuchepetsa kufalikira kwa kugwedezeka panthawi yogwiritsira ntchito zida ndikuwongolera kuzindikira.
Kukhazikika kwamafuta: mzere wokulirapo wa mzere ndi wochepera 5×10⁻⁶/℃. Zida za semiconductor zimakhudzidwa kwambiri ndi kusintha kwa kutentha, ndipo kukhazikika kwa kutentha kwa maziko kumagwirizana mwachindunji ndi kulondola kwa zipangizo. Panthawi ya lithography, kusinthasintha kwa kutentha kungayambitse kufalikira kapena kutsika kwa maziko, zomwe zimapangitsa kuti pakhale kusiyana kwa kukula kwa mawonekedwe owonetsera. M'munsi mwa granite ndi otsika liniya kukulitsa coefficient akhoza kulamulira kusintha kukula mu osiyanasiyana ochepa kwambiri pamene kutentha ntchito zipangizo kusintha (nthawi zambiri 20-30 ° C) kuonetsetsa lithography olondola.
Chachitatu, khalidwe lapamwamba
Kukula: Kukula kwapamtunda Ra mtengo pamunsi sidutsa 0.05μm. Malo osalala kwambiri amatha kuchepetsa kutengeka kwa fumbi ndi zonyansa ndikuchepetsa kukhudzidwa kwa ukhondo wa malo opangira zida za semiconductor. Mu msonkhano wopanda fumbi wa kupanga chip, tinthu tating'onoting'ono tingayambitse zolakwika monga chipwirikiti chachifupi, ndipo malo osalala a m'munsi amathandizira kukhala ndi malo oyera a msonkhano ndikuwongolera zokolola za chip.
Zowonongeka zazing'ono: Pamwamba pa maziko saloledwa kukhala ndi ming'alu yowonekera, mabowo amchenga, pores ndi zolakwika zina. Pamlingo wa microscopic, kuchuluka kwa zolakwika zomwe zili ndi mainchesi akulu kuposa 1μm pa lalikulu centimita sikuyenera kupitilira 3 ndi ma electron microscopy. Zowonongeka izi zidzakhudza mphamvu zamapangidwe ndi flatness pamwamba pa maziko, ndiyeno zimakhudza kukhazikika ndi kulondola kwa zipangizo.
Chachinayi, kukhazikika ndi kukana kugwedezeka
Kukhazikika kwamphamvu: M'malo ofananirako ogwedezeka opangidwa ndi kugwiritsa ntchito zida za semiconductor (kugwedezeka kwafupipafupi 10-1000Hz, matalikidwe a 0.01-0.1mm), kusuntha kwa kugwedezeka kwa mfundo zazikuluzikulu pamunsi kuyenera kuyendetsedwa mkati mwa ± 0.05μm. Kutengera zida zoyeserera za semiconductor monga mwachitsanzo, ngati kugwedezeka kwa chipangizocho ndi kugwedezeka kwa chilengedwe chozungulira kumaperekedwa kumunsi panthawi yogwira ntchito, kulondola kwa chizindikiro choyesa kungasokonezedwe. Kukhazikika kwabwino kwamphamvu kumatha kutsimikizira zotsatira zodalirika zoyezetsa.
Kulimbana ndi zivomezi: Pansi pake payenera kukhala ndi magwiridwe antchito abwino kwambiri a zivomezi, ndipo amatha kuchepetsa mphamvu yakugwedezeka mwachangu ikagwidwa ndi kugwedezeka kwakunja kwadzidzidzi (monga kugwedezeka kwa mafunde a seismic), ndikuwonetsetsa kuti malo ogwirizana ndi zigawo zikuluzikulu za zida zikusintha mkati mwa ± 0.1μm. M'mafakitale a semiconductor m'malo omwe nthawi zambiri amakhala ndi zivomezi, maziko osagwira zivomezi amatha kuteteza zida zamtengo wapatali za semiconductor, kuchepetsa chiwopsezo cha kuwonongeka kwa zida ndi kusokoneza kupanga chifukwa cha kugwedezeka.
5. Kukhazikika kwa mankhwala
Kukana dzimbiri: M'munsi mwa granite ayenera kupirira dzimbiri wa wamba wothandizila mankhwala mu semiconductor kupanga ndondomeko, monga asidi hydrofluoric, aqua regia, etc. Pambuyo akuwukha mu hydrofluoric asidi njira ndi misa gawo la 40% kwa maola 24, pamwamba khalidwe imfa mlingo sayenera upambana 0.01%; Zilowerereni mu aqua regia (chiŵerengero cha hydrochloric acid ku nitric acid 3:1) kwa maola 12, ndipo palibe zodziwikiratu za dzimbiri pamtunda. Njira yopangira semiconductor imaphatikizapo njira zosiyanasiyana zopangira mankhwala ndi kuyeretsa, ndipo kukana kwabwino kwa dzimbiri kwa maziko kungathe kuonetsetsa kuti kugwiritsidwa ntchito kwa nthawi yaitali m'malo opangira mankhwala sikunawonongeke, ndipo kulondola ndi kukhulupirika kwapangidwe kumasungidwa.
Kudana ndi kuipitsa: Zomwe zili m'munsi zimakhala ndi mayamwidwe otsika kwambiri a zowononga wamba m'malo opangira semiconductor, monga mpweya wachilengedwe, ayoni achitsulo, ndi zina zambiri. Zikayikidwa m'malo okhala ndi 10 PPM ya mpweya wachilengedwe (monga benzene, toluene) ndi 1ppm ya ayoni achitsulo (mwachitsanzo, ayoni amkuwa, ma ayoni amkuwa, ma ayoni amkuwa, ma ayoni achitsulo, ma ayoni achitsulo opangidwa ndi ma 72 ola, kusintha kwa chitsulo kwa maola 72) pansi pamwamba ndi osasamala. Izi zimalepheretsa zowononga kusamuka kuchokera pansi kupita kumalo opangira chip ndikusokoneza mtundu wa chip.
Nthawi yotumiza: Mar-28-2025