M'kati mwa makampani opanga ma semiconductor omwe akupita ku njira zopangira nanoscale, kudula kwa mkate, monga cholumikizira chachikulu pakupanga chip, kumakhala ndi zofunika kwambiri pakukhazikika kwa zida. Maziko a granite, omwe ali ndi kukana kugwedezeka kwapadera komanso kukhazikika kwamafuta, akhala gawo lalikulu la zida zodulira zophatikizika, zomwe zimapereka chitsimikizo chodalirika chakuchita bwino kwambiri komanso kuchita bwino kwambiri. ku
Makhalidwe apamwamba komanso odana ndi kugwedezeka: Kuteteza kulondola kwa nano-level kudula
Pamene zida zodula zopota zikugwira ntchito, kusinthasintha kwapamwamba kwa spindle, kugwedezeka kwapamwamba kwa chida chodulira, ndi kugwedezeka kwa chilengedwe chopangidwa ndi zida zozungulira zonse zidzakhudza kwambiri kudula molondola. Kuwonongeka kwazitsulo zachitsulo ndizochepa, zomwe zimapangitsa kuti zikhale zovuta kuchepetsa kugwedezeka kwachangu, zomwe zimatsogolera ku jitter ya micron-level ya zida zodulira ndipo zimayambitsa zowonongeka monga m'mphepete mwazitsulo ndi ming'alu ya zopyapyala. Makhalidwe onyowa kwambiri a maziko a granite athetsa vutoli. ku
Ma kristalo amkati amchere a granite amalumikizana kwambiri, kupanga mawonekedwe achilengedwe otaya mphamvu. Kugwedezekako kukatumizidwa kumunsi, mawonekedwe ake amkati amatha kusintha mphamvu yakugwedezeka kukhala mphamvu yotentha, ndikupangitsa kuti kugwedezeka kukhale koyenera. Deta yoyesera imasonyeza kuti pansi pa malo omwewo akugwedezeka, maziko a granite amatha kuchepetsa kugwedezeka kwa matalikidwe oposa 90% mkati mwa masekondi 0.5, pamene maziko achitsulo amafunika 3 mpaka masekondi 5. Kuchita bwino kwambiri kumeneku kumatsimikizira kuti chida chodulira chimakhalabe chokhazikika panthawi yodulira nanoscale, kutsimikizira m'mphepete mwawo kudula ndikuchepetsa kutsitsa. Mwachitsanzo, podula 5nm wafer, zida zokhala ndi maziko a granite zimatha kuwongolera kukula kwa 10μm, komwe kumaposa 40% kuposa zida zokhala ndi chitsulo. ku
Ultra-low coefficient of thermal expansion: Kusagwirizana ndi kusinthasintha kwa kutentha
Pa ndondomeko yowotcha yopyapyala, kutentha komwe kumapangidwa ndi kukangana kwa zida zodulira, kutentha kwa kutentha kwa nthawi yayitali ya zida, ndi kusintha kwa kutentha kwa malo ochitira msonkhano kungayambitse kutentha kwa zigawo za zipangizo. Coefficient of thermal expansion of metallic materials ndi yokwera kwambiri (pafupifupi 12×10⁻⁶/℃). Kutentha kumasinthasintha ndi 5 ℃, chitsulo cha 1-mita-utali wachitsulo chikhoza kusinthidwa ndi 60μm, zomwe zimapangitsa kuti malo odulirawo asunthike komanso kukhudza kwambiri kudula. ku
Coefficient of thermal expansion of the granite base ndi (4-8) × 10⁻⁶/℃, yomwe ili yocheperapo gawo limodzi mwa magawo atatu a zinthu zachitsulo. Pansi pa kusintha kwa kutentha komweko, kusintha kwake kwa mawonekedwe kumatha kunyalanyazidwa. Deta yoyezera ya bizinesi ina yopangira semiconductor ikuwonetsa kuti pakadutsa maola 8 mosalekeza, kutentha kozungulira kumasinthasintha ndi 10 ℃, kutsika kwa zida zokhala ndi maziko a granite ndi zosakwana 20μm, pomwe zida zokhala ndi zitsulo zokhala ndi zitsulo zimaposa 60μm. Kutentha kokhazikika kumeneku kumatsimikizira kuti malo omwe ali pakati pa chida chodulira ndi chowotcha amakhalabe olondola nthawi zonse. Ngakhale pansi pa nthawi yayitali yogwira ntchito kapena kusintha kwakukulu kwa kutentha kwa chilengedwe, kusagwirizana kwa kudula molondola kungathe kusungidwa. ku
Kusasunthika ndi kukana kuvala: Onetsetsani kuti zida zikugwira ntchito kwanthawi yayitali
Kuphatikiza pa ubwino wa kugwedezeka kwa kugwedezeka ndi kukhazikika kwa kutentha, kukhazikika kwakukulu ndi kukana kwa mavalidwe a granite maziko kumapangitsanso kudalirika kwa zida zodulira zopyapyala. Granite ili ndi kuuma kwa 6 mpaka 7 pa sikelo ya Mohs ndi mphamvu yopondereza yoposa 120MPa. Imatha kupirira kupsinjika kwakukulu komanso mphamvu yowononga panthawi yodula ndipo simakonda kupindika. Pakadali pano, mawonekedwe ake owundana amamupatsa kukana kwabwino kwambiri. Ngakhale panthawi yodula nthawi zambiri, pamwamba pa mazikowo samakonda kuvala, kuonetsetsa kuti zipangizozo zimagwira ntchito bwino kwambiri kwa nthawi yaitali. ku
Pakugwiritsa ntchito, mabizinesi ambiri opanga zowotcha asintha kwambiri zokolola zazinthu komanso kupanga bwino potengera zida zodulira zokhala ndi ma granite. Zambiri zochokera kugulu lotsogola padziko lonse lapansi zikuwonetsa kuti atakhazikitsa zida zoyambira za granite, zokolola zodula zopindika zakwera kuchoka pa 88% mpaka kupitilira 95%, kuwongolera zida kwakulitsidwa katatu, kuchepetsa bwino mtengo wopanga ndikukweza mpikisano wamsika. ku
Pomaliza, maziko a granite, omwe ali ndi kukana kugwedezeka kwabwino, kukhazikika kwamafuta, kulimba kwambiri komanso kukana kuvala, kumapereka chitsimikizo chokwanira cha zida zodulira. Pomwe ukadaulo wa semiconductor ukupita patsogolo kwambiri, maziko a granite atenga gawo lofunikira kwambiri pantchito yopanga zowotcha, kulimbikitsa chitukuko chopitilira muyeso chamakampani opanga ma semiconductor.
Nthawi yotumiza: May-20-2025