Buku Lotsogolera Kusankha Zipangizo Zoyendera Wafer: Kuyerekeza Kukhazikika kwa Miyeso ya Granite ndi Chitsulo Chopangidwa ndi Cast kwa Zaka 10.

​
Mu gawo la kupanga ma semiconductor, kulondola kwa zida zowunikira ma wafer kumatsimikizira mwachindunji ubwino ndi kukolola kwa ma chips. Monga maziko othandizira zigawo zozindikirira pakati, kukhazikika kwa magawo a zida zoyambira kumachita gawo lofunikira kwambiri pakugwira ntchito kwanthawi yayitali kwa zida. Granite ndi chitsulo chopangidwa ndi chitsulo ndi zinthu ziwiri zoyambira zomwe zimagwiritsidwa ntchito kwambiri pazida zowunikira ma wafer. Kafukufuku woyerekeza wa zaka 10 wavumbulutsa kusiyana kwakukulu pakati pawo pankhani ya kukhazikika kwa magawo, kupereka maumboni ofunikira pakusankha zida.
Mbiri ndi Kapangidwe ka Kuyesera
Njira yopangira ma wafer a semiconductor ili ndi zofunikira kwambiri kuti zidziwike molondola. Ngakhale kupotoka kwa miyeso ya micrometer kungayambitse kuchepa kwa magwiridwe antchito a chip kapena kukanda. Pofuna kufufuza kukhazikika kwa miyeso ya granite ndi chitsulo choponyedwa panthawi yogwiritsidwa ntchito kwa nthawi yayitali, gulu lofufuza linapanga zoyeserera zomwe zinayesa malo enieni ogwirira ntchito. Zitsanzo za granite ndi chitsulo choponyedwa zofanana zinasankhidwa ndikuyikidwa mchipinda chosungiramo zachilengedwe komwe kutentha kunkasinthasintha kuyambira 15℃ mpaka 35℃ ndipo chinyezi chinkasinthasintha kuyambira 30% mpaka 70% RH. Kugwedezeka kwa makina panthawi yogwiritsira ntchito zida kunayesedwa kudzera patebulo logwedezeka. Miyeso yofunika kwambiri ya zitsanzozo inkayesedwa kotala lililonse pogwiritsa ntchito laser interferometer yolondola kwambiri, ndipo detayo inkalembedwa mosalekeza kwa zaka 10.

Zotsatira zoyesera: Ubwino waukulu wa granite
Zaka khumi za kafukufuku woyesera zikusonyeza kuti granite substrate imasonyeza kukhazikika kodabwitsa. Kuchuluka kwa kutentha kwake ndi kochepa kwambiri, pafupifupi 4.6 × 10⁻⁶/℃ yokha. Pakusintha kwakukulu kwa kutentha, kusiyana kwa miyeso nthawi zonse kumayendetsedwa mkati mwa ± 0.001mm. Poyang'anizana ndi kusintha kwa chinyezi, kapangidwe kolimba ka granite kamaipangitsa kuti isakhudzidwe, ndipo palibe kusintha koyezeka kwa miyeso komwe kumachitika. Mu malo ogwedezeka ndi makina, makhalidwe abwino kwambiri a granite amayamwa mphamvu ya kugwedezeka, ndipo kusinthasintha kwa miyeso kumakhala kochepa kwambiri.
Mosiyana ndi zimenezi, pa chitsulo chopangidwa ndi ...
Chifukwa chachikulu cha kusiyana kwa kukhazikika
Granite inapangidwa kwa zaka mazana ambiri kudzera mu njira za geological. Kapangidwe kake kamkati ndi kokhuthala komanso kofanana, ndipo makhiristo a mchere amakonzedwa bwino, zomwe zimachotsa kupsinjika kwamkati mwachilengedwe. Izi zimapangitsa kuti isakhudzidwe kwambiri ndi kusintha kwa zinthu zakunja monga kutentha, chinyezi ndi kugwedezeka. Chitsulo chopangidwa ndi chitsulo chimapangidwa ndi njira yopangira ndipo chimakhala ndi zolakwika zazing'ono monga ma pores ndi mabowo amchenga mkati. Pakadali pano, kupsinjika kotsalira komwe kumachitika panthawi yopangira chitsulo kungayambitse kusintha kwa mawonekedwe chifukwa cha kukondoweza kwa chilengedwe chakunja. Kapangidwe kachitsulo ka chitsulo chopangidwa ndi chitsulo kumapangitsa kuti chizime dzimbiri chifukwa cha chinyezi, zomwe zimafulumizitsa kuwonongeka kwa kapangidwe kake ndikuchepetsa kukhazikika kwa mawonekedwe.
Zotsatira za zida zowunikira ma wafer
Zipangizo zowunikira ma wafer zochokera ku granite substrate, zomwe zimakhala ndi magwiridwe antchito okhazikika, zimatha kuonetsetsa kuti njira yowunikira imasunga kulondola kwambiri kwa nthawi yayitali, kuchepetsa kuweruza molakwika ndi kulephera kuzindikira komwe kumachitika chifukwa cha kusinthasintha kwa kulondola kwa zida, ndikuwonjezera kwambiri phindu la zinthu. Pakadali pano, zofunikira zochepa zosamalira zimachepetsa mtengo wonse wa zida. Zipangizo zomwe zimagwiritsa ntchito substrate zachitsulo chopangidwa ndi chitsulo, chifukwa cha kukhazikika kosakwanira kwa miyeso, zimafuna kuyesedwa pafupipafupi ndi kusamalidwa. Izi sizimangowonjezera ndalama zogwirira ntchito komanso zingakhudze mtundu wa kupanga kwa semiconductor chifukwa chosakwanira kulondola, zomwe zimapangitsa kuti pakhale kutayika kwachuma.
Malinga ndi chizolowezi cha makampani opanga zinthu zamagetsi zoyezera magetsi (semiconductor industry) chofuna kulondola kwambiri komanso kukhala ndi khalidwe labwino, kusankha granite ngati chinthu chofunikira kwambiri pa zida zowunikira za wafer mosakayikira ndi njira yanzeru yotsimikizira kuti zida zikugwira ntchito bwino ndikuwonjezera mpikisano wa mabizinesi.