Kodi maziko a makina a granite adzakula chifukwa cha kutentha panthawi yofufuza ma wafer?

Mu ulalo wofunikira kwambiri pakupanga ma chip - kusanthula kwa wafer, kulondola kwa zida kumatsimikiza mtundu wa chip. Monga gawo lofunikira la zida, vuto la kutentha kwa maziko a makina a granite lakopa chidwi cha anthu ambiri.

Kuchuluka kwa kutentha kwa granite nthawi zambiri kumakhala pakati pa 4 ndi 8×10⁻⁶/℃, komwe kumakhala kotsika kwambiri kuposa kwa zitsulo ndi marble. Izi zikutanthauza kuti kutentha kukasintha, kukula kwake kumasintha pang'ono. Komabe, ziyenera kudziwika kuti kutentha kochepa sikukutanthauza kuti kutentha sikukukula. Pakusintha kwakukulu kwa kutentha, ngakhale kukula pang'ono kungakhudze kulondola kwa nanoscale kwa wafer scanning.

Pa nthawi yofufuza ma wafer, pali zifukwa zambiri zomwe zimapangitsa kuti kutentha kuchuluke. Kusintha kwa kutentha m'malo ogwirira ntchito, kutentha komwe kumachitika chifukwa cha kugwiritsa ntchito zida, komanso kutentha kwakukulu komwe kumachitika nthawi yomweyo chifukwa cha laser, zonsezi zimapangitsa kuti maziko a granite "akule ndikuchepa chifukwa cha kusintha kwa kutentha". Maziko akayamba kukulitsa kutentha, kulunjika kwa njanji yotsogolera komanso kusalala kwa nsanja kumatha kusokonekera, zomwe zimapangitsa kuti tebulo la wafer lisamayende bwino. Zigawo zothandizira kuwala nazonso zimasuntha, zomwe zimapangitsa kuti kuwala kwa scanning "kusinthe". Kugwira ntchito mosalekeza kwa nthawi yayitali kudzasonkhanitsanso zolakwika, zomwe zimapangitsa kuti kulondola kukhale koipa kwambiri.

Koma musadandaule. Anthu ali kale ndi mayankho. Ponena za zipangizo, mitsempha ya granite yokhala ndi coefficient yotsika ya kutentha idzasankhidwa ndikuthandizidwa kuti ikule. Ponena za kuwongolera kutentha, kutentha kwa workshop kumayendetsedwa bwino pa 23±0.5℃ kapena kutsika, ndipo chipangizo chotenthetsera kutentha chidzapangidwiranso maziko. Ponena za kapangidwe ka kapangidwe kake, nyumba zofanana ndi zothandizira zosinthasintha zimagwiritsidwa ntchito, ndipo kuyang'anira nthawi yeniyeni kumachitika kudzera mu masensa otentha. Zolakwika zomwe zimachitika chifukwa cha kusintha kwa kutentha zimakonzedwa modabwitsa ndi ma algorithms.

Zipangizo zapamwamba monga makina a ASML lithography, kudzera mu njira izi, zimasunga mphamvu ya kutentha kwa maziko a granite mkati mwa mtunda wochepa kwambiri, zomwe zimathandiza kuti kulondola kwa kusanthula kwa wafer kufika pamlingo wa nanometer. Chifukwa chake, bola ngati ikuyendetsedwa bwino, maziko a granite amakhalabe chisankho chodalirika cha zida zowunikira wafer.