Kodi maziko a makina a granite adzakula chifukwa cha kutentha panthawi yofufuta?

Mu ulalo waukulu wa kupanga chip - kusanthula kwawafer, kulondola kwa zida kumatsimikizira mtundu wa chip. Monga gawo lofunikira pazida, vuto lakukula kwamafuta pamakina a granite lakopa chidwi kwambiri.

Coefficient of thermal expansion of granite nthawi zambiri imakhala pakati pa 4 ndi 8 × 10⁻⁶/℃, yomwe imakhala yotsika kwambiri kuposa yazitsulo ndi marble. Izi zikutanthauza kuti kutentha kukasintha, kukula kwake kumasintha pang'ono. Komabe, ziyenera kuzindikirika kuti kuwonjezereka kwa kutentha kochepa sikutanthauza kuti palibe kuwonjezeka kwa kutentha. Pansi pa kusinthasintha kwakukulu kwa kutentha, ngakhale kukulitsa pang'ono kungakhudze kulondola kwa nanoscale kwa sikani yopyapyala.

Pakupanga sikani yawafer, pali zifukwa zingapo zomwe zimachititsa kuti matenthedwe awonjezere. Kusinthasintha kwa kutentha kwa msonkhano, kutentha kopangidwa ndi kagwiritsidwe ntchito ka zida, komanso kutentha kwanthawi yomweyo komwe kumabwera chifukwa cha kukonza kwa laser kumapangitsa kuti maziko a granite "akulitsidwe ndi mgwirizano chifukwa cha kusintha kwa kutentha". Maziko akamakula, kuwongoka kwa njanji yowongolera komanso kusalala kwa nsanja kumatha kupatuka, zomwe zimapangitsa kuti pakhale njira yolakwika ya tebulo lawafa. Zigawo zothandizira kuwala zidzasunthanso, zomwe zimapangitsa kuti mtengo wowunikira "upatuke". Kugwira ntchito mosalekeza kwa nthawi yayitali kudzaunjikiranso zolakwika, kupangitsa kulondola kuipiraipira.

Koma musadandaule. Anthu ali kale ndi mayankho. Pankhani ya zipangizo, mitsempha ya granite yokhala ndi coefficient yotsika yowonjezera kutentha idzasankhidwa ndikupatsidwa chithandizo chaukalamba. Pankhani ya kuwongolera kutentha, kutentha kwa msonkhano kumayendetsedwa bwino pa 23 ± 0.5 ℃ kapena ngakhale kutsika, ndipo chipangizo chotenthetsera kutentha chidzapangidwiranso maziko. Pankhani ya mapangidwe apangidwe, ma symmetrical ma symmetrical ndi othandizira osinthika amatengedwa, ndipo kuyang'anira nthawi yeniyeni kumachitika kudzera mu masensa a kutentha. Zolakwa zomwe zimayambitsidwa ndi kutentha kwa kutentha zimakonzedwa mwamphamvu ndi ma aligorivimu.

Zida zapamwamba kwambiri monga makina a ASML lithography, kupyolera mu njirazi, zimasunga mphamvu yowonjezera kutentha kwa maziko a granite mkati mwazochepa kwambiri, zomwe zimathandiza kuti makina ophatikizirapo amatha kufika pamtunda wa nanometer. Choncho, bola ngati ikuyendetsedwa bwino, maziko a granite amakhalabe odalirika pazida zowunikira.